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如果将氦（He）nai（Ne）激光作为1代气体激光，北京准分子激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化ke（KrF）激光，可称为第三代激光。我们必须承认，氦气与ya气相比，准分子激光厂商，确实有比较高的电离率和较低的等离子体形成电压，但是它的分子重量较小。因此，氦保护气需要较大的流速。除了质谱仪就只有激光气体分析仪了。

激光气体的介绍

一切以气体或蒸汽作为激光工作物质的激光气，统称为气体激光气。这是目前种类zui多、发展zui快应用zui广的一类激光器。通常可以把气体激光器划分为原于气体激光器、离子气体激光器、分子激光器和准分子激光器、气体激光器的激励方式很多，通常采用气体放电激励，气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧。

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